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離子束拋光機加工優勢：

1、可實現面型RMS＜1nm，PV＜10 nm高精度拋光加工能力（1λ=632nm），粗糙度不改變。

2、可加工的光學元器件形狀有：平面、球面、非球面、自由曲面、離軸非球面、橢圓、柱面鏡、棱鏡或錐透鏡，可按客戶需求定制；

3、加工采用非接觸式加工 ，無邊緣效應；

4、可加工材料，可加工所有光學元器件材料，如各種光學玻璃、石英玻璃、微晶、超低膨脹玻璃（ULE）、KDP晶體、藍寶石、硅、碳化硅，紅外材料等；

5、控制程序高度集成化、智能化，具備極高的穩定性。

6、設備由主副真空室構成，以減少工件更換使用時間，提升加工效率。

7、離子束輸出束斑口徑分檔可調，可實現1-50mm不同束徑變換。

埃福思科技公司離子束拋光機的特色與創新

埃福思科技離子束拋光機采用創新設計的雙室結構與臥式加工方案、配置高性能的美國Veeco公司原裝離子源系統、高動態特性運動系統、和功能強大的工藝計算與控制軟件。因此，埃福思離子束拋光機具有先進的高性能高可靠性，具備換件效率高、束流可調范圍大、長時穩定加工、操作方便智能、加工精度高等優點。

1）創新設計的雙室結構與加工方案

高性能伺服運動軸傳送工件，高效率、高可靠性；

臥式加工布局，有利于工件操作和保護鏡面、濺射物不污染離子源、離子源可長期穩定工作。

（申請專利201811261305.2和201821754806.X）

2）高性能離子源系統

美國Veeco公司高性能5cm離子源系統，功能強大且高度集成，集成離子源、中和器、氣體流量的控制、集成束流檢測；

高功率密度，普通版電壓1200V，電流300mA（功率360W）；高功率版電壓2000V，電流1000mA（功率2000W）；

長時穩定工作，離子源極Tip的壽命至少150小時；

束徑調節范圍大，同時配套5cm和3cm柵網、配套1/5/8/10/15/20/30mm等多種口徑的光闌、產生涵蓋1~50mm的束徑（FWHM）。

3）高動態特性運動系統

X軸和Z軸電機外置，減小真空室內部放氣、有利于工藝；

采用高性能伺服電機，高動態特性、高精度。

（申請專利201821753737.0）

4）功能強大的工藝計算與控制軟件

軟件已使用10余年，已相當成熟和完善，集成了各種算法，比如確定最優加工量的L曲線算法和最優的邊緣延拓算法（光滑下降延拓法）；

提供加工分析模塊，可對加工結果與仿真結果進行對比分析，可以分析出加工中的去除函數誤差和定位誤差，從而可以提高后續加工的確定性和加工精度；

控制軟件高度集成，實現了全數字化監控、各監控系統信息共享；

控制軟件高度智能，具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時開機、定時停機、預約加工、加工保護、遠程協助等高級功能。

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