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離子束拋光機IFS300A

離子束拋光機IFS300A

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_離子束拋_光離子束拋光機IFS300A技術參數_{離子束拋光}

名稱	參數
加工能力（最大工件尺寸）	300mm×300mm 厚度100mm
可加工面形	平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等
可加工材料	石英、微晶、ULE、藍寶石、單晶硅、碳化硅等
可加工精度	亞納米加工精度、可實現面形RMS＜1nm超高精度加工
X軸行程	≥300mm
Y軸行程	≥300mm
Z軸行程	≥300mm
離子源	美國Veeco HC 5cm / 德國射頻離子源
中和器	美國 Veeco HCN / 德國
工作真空建立時間	≤1 hours
副室真空建立時間	≤15 min
X軸最大運動速度	5m/min
Y軸最大運動速度	5m/min
Z軸最大運動速度	3m/min
運動軸重復定位精度	≤±0.01mm
保護功能	具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等
智能功能	具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。
外形尺寸	長寬高：2.5x2.5x2.1m
整機重量	4噸
能耗功率	Max:12KW Avg:5KW

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